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動態流導法有時也稱為動態流量法和小孔法校準,它是建立在氣流連續性原理、分子流狀態和等溫條件基礎上的,由於是動態校準,吸氣和放氣的影響很小。在分子流狀態下,流導公為結構幾何尺寸的函數,與壓力無關。其校準下限隨真空獲得和小流量測量水平而延伸。是目前超高真空和極高真空的切實可行的校準方法。
動態流導法校準原理是根據氣體分子運動論原理,利用薄壁小孔作標準流導產生已知低壓力的。
圖:動態流導法校準真空計的方法
圖是這種校準方法原理示意圖。首先將校準室壓力抽至校準壓力下限以下2~3個數量級,這樣計算校準壓力時可忽略本底的影響。校準氣體以穩定流量pG通過針閥K,由進氣管注入校準室。氣體以分子流流經一薄壁小孔並由真空係統抽除。在達到動態平衡時,在小孔上方的校準室建立起已知的低壓力p,用它來校準真空計G。校準室的壓力可由式29計算。
由於係統的有效抽速比小孔流導大很多,故使得小孔下遊的壓力戶。遠小於校準室壓力p,這樣小孔下遊壓力測量值誤差對校準壓力的影響很小。因此,隻要根據校準氣體流量qG、小孔流導C和小孔下遊壓力pb,就可以計算出校準室壓力來。
校準氣體的流量qG由流量計測量。流量範圍為10-7~10-3Pam3s-1,其測量精度可達士O.5%,壓力校準範圍是10-5~lO-1Pa。
由於很難測定微小的流量,也就直接限製了校準壓力下限。采用分流的辦法,能擴展壓力校準下限,這就是二級動態流導校準法。
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